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日本の半導体装置用真空計市場を動かしているのは何でしょうか。本記事では、国内需要を押し上げている要因と、市場を構成する製品タイプ・用途を整理します。
需要を押し上げている要因
日本の半導体装置向け真空計需要は、先端ロジックやメモリの微細化・積層化が進む中で、プロセスチャンバー内の超清浄環境と極限的な圧力制御への要求が高まっていることが主な原動力です。特に、東京エレクトロンやディスコなどの装置メーカーや、ソニーセミコンダクタソリューションズ、キオクシアといったデバイスメーカーが、成膜やエッチング工程でのガス種ごとの精密な圧力モニタリングを必要としており、従来のピラニーや静電容量式から、より応答性が高く、耐腐食性に優れた水晶振動子式やマルチセンサー式への置き換えが進んでいます。コスト面では、電力高騰と為替変動が装置メーカーに部品調達価格の見直しを迫る一方、政府の半導体補助金やグリーントランスフォーメーション政策に伴い、省エネ性能やガス消費削減効果が高い真空計への投資が促進されています。また、技術的なシフトとして、半導体製造装置のデータ活用が進み、真空計も単なる圧力表示器ではなく、プロセス異常検知や装置稼働率向上のためのインテリジェントなセンサーデバイスとして、通信機能や自己診断機能を備えた製品の仕様が求められるようになってきています。
製品タイプ別の内訳
- キャパシタンスダイアフラムゲージ
- 電離真空計
- ピラニ真空計
- その他
タイプごとの特徴
半導体製造装置において真空ゲージはプロセスや圧力領域に応じて使い分けられます。まず、静電容量式隔膜真空計は大気圧付近から中真空域までを高精度で測定でき、反応性ガスや腐食性ガスが発生するエッチングやCVD装置で広く用いられます。次に、ピラニ真空計は熱伝導を利用して低真空から中真空域を測定し、コストが低いためロードロック室や排気系の監視に適しています。一方、電離真空計は高真空から超高真空域を測定可能で、スパッタリングや蒸着工程での成膜前のベーキング確認に不可欠です。その他には、スピニングローター真空計や四重極質量分析計があり、前者は極高真空の校正基準として、後者は残留ガス分析によるリーク検出やプロセス制御に使用され、装置の品質と歩留まり向上に貢献しています。
用途別の内訳
- 寄託
- エッチングとクリーニング
- イオン注入
- その他
市場に関わる主要企業
- MKS (Granville-Phillips)
- Inficon
- Canon ANELVA
- Atlas Copco (Leybold，and Edwards)
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Agilent
- ULVAC
- SATO VAC INC
- Azbil Corporation
- Arun Microelectronics
- Teledyne Hastings Instruments
- Kurt J. Lesker
- Setra Systems
- EBARA
- ATOVAC
- Reborns
半導体装置用真空計市場レポート
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